Резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» завод «Микрон» (входит в ГК «Элемент») ведет активную работу по импортозамещению химических материалов и аттестации российских компонентов для производства микроэлектроники. На конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов, которые ранее приобретались у зарубежных производителей. Об этом сообщил министр правительства Москвы, руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
«За девять месяцев 2023 года выручка кластера микроэлектроники ОЭЗ столицы составила почти 27,5 миллиарда рублей, что в 2,2 раза превышает показатели аналогичного периода 2022-го. Одним из ключевых направлений стратегии развития радиоэлектронной промышленности является производство устройств и систем на основе отечественной компонентной базы. Резидент особой экономической зоны Москвы на конец 2023 года аттестовал к применению в серийном производстве 26 российских химических материалов для производства микросхем с топологией 180–90 нанометров. Еще 28 находятся в разработке. Это обеспечит заводу независимость от зарубежных поставщиков», – отметил Владислав Овчинский.
Чипы предприятия используют в банковских картах «Мир», загранпаспортах, водительских удостоверениях, транспортной карте «Тройка», школьной карте «Москвенок».
«В третьем квартале 2023 года предприятие аттестовало к применению в серийном производстве суспензию отечественного производства для химико-механической полировки полупроводниковой пластины. Материал успешно прошел испытания и соответствует требованиям сверхчистого микроэлектронного производства», – уточнил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.
Сверхчистые материалы – это вещества, в которых уровень сторонних примесей не превышает 0,0001 процента. Трехмерная структура чипа формируется на кремниевой подложке слой за слоем в ходе строго регламентированного техпроцесса, который включает сложную высокоточную химобработку. В рамках него завод тестирует российские химические материалы, которые могут быть использованы для производства микросхем.
«В техпроцессах «Микрона» применяются сверхчистые химические материалы, реактивы, газы и смеси, в том числе 5 типов суспензии для химико-механической полировки. Отечественная суспензия диоксида кремния, которую мы аттестовали в октябре 2023 года, используется в процессе химико-механической полировки для выравнивания поверхности межуровневого диэлектрика и позволяет формировать надежные электрические соединения в системах с многоуровневой металлизацией. Данная суспензия используется на технологических линиях по выпуску кремниевых пластин для микросхем с топологией 180–90 нанометров. Ведущее предприятие ГК «Элемент» готово полностью перейти на использование отечественных сверхчистых материалов в своих технических процессах до конца 2025 года», – подчеркнула генеральный директор завода Гульнара Хасьянова.